電子半導(dǎo)體的快速發(fā)展是工業(yè)和企業(yè)發(fā)展的驅(qū)動力，促進了經(jīng)濟和社會的發(fā)展。然而，隨著制造業(yè)的擴大，加工廠的增加，電子半導(dǎo)體廢水的排放量增加，半導(dǎo)體廢水不能隨意排放。半導(dǎo)體工業(yè)是一個非常依賴水資源的行業(yè)，也是一個耗水量大的行業(yè)。特別是在水資源有限的情況下，限水和缺水給半導(dǎo)體制造商的運營帶來了巨大的壓力。

因此，半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)節(jié)水的研究和實踐有助于提高用水效率，降低用水成本。目前，節(jié)約用水和中水回收，廢水回收已經(jīng)成為半導(dǎo)體經(jīng)營者應(yīng)對缺水危機的重要措施，尤其是廢水的回收，不僅可以降低對水資源的需求，還可以降低企業(yè)的生產(chǎn)成本，減少對環(huán)境的污染。

電子半導(dǎo)體廢水處理方法有很多，如生化、物理、物化、化學(xué)等?？梢愿鶕?jù)半導(dǎo)體廢水的水質(zhì)進行處理，但吸附、冷凍、離子交換樹脂、超濾、電滲析等。廢水處理成本相對較高，廢水去除達標排放率相對較低。電子半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝復(fù)雜，工藝步驟有很多步，同時使用各種化學(xué)試劑和特殊氣體。主要生產(chǎn)工藝包括硅片清洗、氧化、擴散、化學(xué)氣相沉積、光刻、脫膠、干刻蝕、濕刻蝕、離子注入、金屬化鍍膜、化學(xué)機械拋光等。